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机译:基于悬浮在氮化硅膜上的SU-8光刻胶柱的超疏水芯片
Marinaro, Giovanni; Accardo, Angelo; De Angelis, Francesco; Dane, Thomas; Weinhausen, Britta; Burghammer, Manfred; Riekel, Christian;
机译:基于悬浮在氮化硅膜上的SU-8光致抗蚀剂柱的超疏水芯片
机译:基于胶体光刻的悬浮纳米多孔氮化硅膜的制备
机译:用SU-8波导的ER掺杂富含硅富硅氮化硅(SRSN)微仪的整合用于片上Si基光源
机译:通过氮化硅自轧膜微管纳米技术小型化芯片无源电子器件的小型化
机译:在SU-8光刻胶上的聚吡咯上使用电沉积硅制造视网膜假体测试装置
机译:基于悬浮波导结构的氮化硅相控阵芯片
机译:在氮化硅材料上形成光致抗蚀剂的半导体加工方法,以及在氮化硅材料上包括光致抗蚀剂的半导体晶片组件
机译:用于浓水基持久性负性光刻胶,用于不包含氮化硅的硅鼻
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